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各種不同的樣品,從單晶硅到多晶硅,從生長的晶片到加工過的晶片,都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測量進行檢測。硬件系統被靈活地安裝來執行樣本的逐行掃描。該軟件接口便于與處理系統或自動化系統進行簡單的連接和通信。
MDPlinescan被設計成一個易于集成的OEM單元,用于集成到各種自動化檢測上。關鍵測量是少子壽命掃描。樣品通常由測量探頭下面的傳送帶或機器人系統傳送。應用實例范圍從磚塊到晶片檢查,測量速度小于每晶片一秒。電池生產線的進料質量調查是常見的應用案例,以及在鈍化和擴散之后的工藝質量檢查,在許多其他的專業應用領域也有很大的可能性。只需要集成以太網連接和電源就可以了。包括附加電阻率測量選項。